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Ion implantation : basics to device fabrication

by Emanuele Rimini. -- Kluwer Academic Publishers, 1995. -- (The Kluwer international series in engineering and computer science ; SECS 293 . Electronic materials : science and technology). <BB00941993>
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Ion implantation : basics to device fabrication

by Emanuele Rimini. -- Kluwer Academic Publishers, 1995. -- (The Kluwer international series in engineering and computer science ; SECS 293 . Electronic materials : science and technology). <BB00941993>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架(洋書) 201149218 /549.8/R 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架(洋書)
資料ID 201149218
請求記号 /549.8/R
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Ion implantation : basics to device fabrication / by Emanuele Rimini
出版・頒布事項 Boston : Kluwer Academic Publishers , c1995
形態事項 xii, 393 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0792395204
書誌構造リンク The Kluwer international series in engineering and computer science <BB00951747> SECS 293 . Electronic materials : science and technology//a
注記 Bibliography: p. [359]-378
注記 Includes index
学情ID BA24882495
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Rimini, E. <AU00736904>
分類標目 LCC:QC702.7.I55
分類標目 DC20:621.3815/2
件名標目等 Ion implantation
件名標目等 Semiconductor doping
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction
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