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Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies : techniques, fundamentals, and devices

edited by Orlando Auciello and Jürgen Engemann. -- Kluwer, 1993. -- (NATO ASI series ; ser. E . Applied sciences ; v. 234). <BB00940430>
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Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies : techniques, fundamentals, and devices

edited by Orlando Auciello and Jürgen Engemann. -- Kluwer, 1993. -- (NATO ASI series ; ser. E . Applied sciences ; v. 234). <BB00940430>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架(洋書) 201132172 /549.8/N 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架(洋書)
資料ID 201132172
請求記号 /549.8/N
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies : techniques, fundamentals, and devices / edited by Orlando Auciello and Jürgen Engemann
出版・頒布事項 Dordrecht ; Boston : Kluwer , c1993
形態事項 xv, 633 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0792322657
書誌構造リンク NATO ASI series <BB00780042> ser. E . Applied sciences ; v. 234//a
注記 "Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechnologies, Bad indsheim, Germany, September 21 - October 2, 1992"--T.p. verso
注記 Published in cooperation with NATO Scientific Affairs Division
注記 Includes index
学情ID BA20386017
本文言語コード 英語
著者標目リンク *NATO Advanced Study Institute on Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechnologies <AU00736896> (1992 : Bad Windsheim, Germany)
著者標目リンク Auciello, Orlando, 1945- <AU00736897>
著者標目リンク Engemann, Jürgen <AU00736898>
著者標目リンク North Atlantic Treaty Organization. Scientific Affairs Division <AU00273887>
分類標目 LCC:TK7872.T55
分類標目 DC20:621.3815
件名標目等 Thin film devices -- Congresses
件名標目等 Thin films -- Congresses
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