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Ion implantation and beam processing

edited by J.S. Williams, J.M. Poate. -- Academic Press, 1984. <BB00411914>
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Ion implantation and beam processing

edited by J.S. Williams, J.M. Poate. -- Academic Press, 1984. <BB00411914>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 本館 本館：B2南_洋図書 010595421 /549.8/W74I 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 本館：B2南_洋図書
資料ID 010595421
請求記号 /549.8/W74I
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Ion implantation and beam processing / edited by J.S. Williams, J.M. Poate
出版・頒布事項 Sydney ; New York : Academic Press , 1984
形態事項 xi, 419 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0127569804
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA06909986
本文言語コード 英語
著者標目リンク Williams, J. S. (James Stanislaus) <AU00713083>
著者標目リンク Poate, J. M. <AU00589092>
分類標目 LCC:QC702.7.I55
分類標目 DC19:621.3815/2
件名標目等 Ion implantation
件名標目等 Ion bombardment
件名標目等 Semiconductor doping
件名標目等 Electron beams
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