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Electron-beam technology in microelectronic fabrication

edited by George R. Brewer ; contributors, J. P. Ballantyne ... [et al.]. -- Academic Press, 1980. <BB00949573>
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Electron-beam technology in microelectronic fabrication

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 est. 日野館 日野：一般図書 201111770 /549.8/F45 0件
No. 0001
巻号 est.
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般図書
資料ID 201111770
請求記号 /549.8/F45
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Electron-beam technology in microelectronic fabrication / edited by George R. Brewer ; contributors, J. P. Ballantyne ... [et al.]
出版・頒布事項 New York : Academic Press , 1980
形態事項 xi, 362 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 012133550X
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA03079113
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Brewer, George Raymond, 1922- <AU00736869>
著者標目リンク Ballantyne, J. P. <AU00736870>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC:621.381/7
件名標目等 Microelectronics
件名標目等 Lithography, Electron beam
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