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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- シーエムシー出版, 2012. -- (新材料・新素材シリーズ). <BB02166052>
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- シーエムシー出版, 2012. -- (新材料・新素材シリーズ). <BB02166052>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
資料ID
請求記号
状態
返却予定日
予約
WEB書棚
0001
日野館
日野:一般書架
20001788554
/549.7/Ma
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
日野館
配置場所
日野:一般書架
資料ID
20001788554
請求記号
/549.7/Ma
状態
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 / 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ
出版・頒布事項
東京 : シーエムシー出版 , 2012.11
形態事項
ix, 279p ; 27cm
巻号情報
ISBN
9784781305868
書誌構造リンク
新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ <BB00579709>//a
その他の標題
標題紙タイトル:Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
その他の標題
表紙タイトル:High technology information
その他の標題
異なりアクセスタイトル:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : メムス ネムス センサ シーモス エルエスアイ ノ ユウゴウ
注記
参考文献あり
学情ID
BB1082106X
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
益, 一哉
マス, カズヤ <>
著者標目リンク
年吉, 洋||トシヨシ, ヒロシ <AU00696759>
著者標目リンク
町田, 克之
マチダ, カツユキ <>
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