Tokyo Metropolitan University Library


豊田浩一, 岡崎信次監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2013. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 450 . エレクトロニクスシリーズ). <BB02378549>
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No. Volumes Library Location Material ID Call No Status Due Date Reservation WEB書棚
0001 Systems Design Library Hino:open shelf(Japanese) 20002003622 /549.95/To 0items
No. 0001
Library Systems Design Library
Location Hino:open shelf(Japanese)
Material ID 20002003622
Call No /549.95/To
Due Date
Reservation 0items

Bibliography Details

title and statement of responsibility area EUV光源の開発と応用 / 豊田浩一, 岡崎信次監修
EUV コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
edition area 普及版
publication,distribution,etc.,area 東京 : シーエムシー出版 , 2013.3
physical description area vi, 273p : 挿図 ; 26cm
Volume Information
ISBN 9784781307091
parent bibliography link CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB00773226> 450 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ//aa
variant titles 標題紙タイトル:Development and application of extreme ultraviolet light source
note 「EUV光源の開発と応用」(2007年刊)の普及版
note 文献: 各章末
NCID BB12085089
text language code Japanese
author link 豊田, 浩一||トヨダ, コウイチ <AU00805781>
author link 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00394840>
classification Electronic engineering NDC8:549.95
classification Electronic engineering NDC9:549.95
subject headings 紫外線||シガイセン
subject headings リソグラフィー||リソグラフィー