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EUV光源の開発と応用

豊田浩一, 岡崎信次監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2013. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 450 . エレクトロニクスシリーズ). <BB02378549>
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EUV光源の開発と応用

豊田浩一, 岡崎信次監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2013. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 450 . エレクトロニクスシリーズ). <BB02378549>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 日野館 日野：一般書架 20002003622 /549.95/To 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 日野館
配置場所 日野：一般書架
資料ID 20002003622
請求記号 /549.95/To
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 EUV光源の開発と応用 / 豊田浩一, 岡崎信次監修
EUV コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
版事項 普及版
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2013.3
形態事項 vi, 273p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 9784781307091
書誌構造リンク CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB00773226> 450 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ//aa
その他の標題 標題紙タイトル:Development and application of extreme ultraviolet light source
注記 「EUV光源の開発と応用」(2007年刊)の普及版
注記 文献: 各章末
学情ID BB12085089
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 豊田, 浩一||トヨダ, コウイチ <AU00805781>
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00394840>
分類標目 電子工学 NDC8:549.95
分類標目 電子工学 NDC9:549.95
件名標目等 紫外線||シガイセン
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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